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武昌区浅槽隔离集成式膜厚光学关键尺寸量测仪招标公告

发布时间:2017/10/15 地区: 湖北 - 武昌区

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所属地区 湖北 
招标编号 ****** [登陆后查看] 截止日期 ****** [登陆后查看]
招标代理 湖北***公司 [登陆后查看]
招标业主 长江***公司 [登陆后查看]

公告摘要

 (略) (略) ,于 *** 在公告。 (略) 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:长江 (略) 国际设备采购(第14批)
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: *** H ***
招标项目名称:长江 (略) 国际设备采购项目(第14批)
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 单片式轻聚合物化学清洗机 2 详见文件
2 单片式臭氧化学清洗机 2 详见文件
3 单片式钨制程晶背清洗机 2 详见文件
4 单片式钨制程化学清洗机 2 详见文件
5 晶圆单片式晶圆清洗机 2 详见文件
6 晶圆单片式晶圆清洗机(铜制程) 2 详见文件
7 晶圆表面沾污测量系统 2 详见文件
8 薄膜厚度光学量测系统 4 详见文件
9 半导体材料元素浓度测量系统 2 详见文件
10 薄膜电性分析和硅基底测量系统 2 详见文件
11 薄膜厚度和成分测量仪 2 详见文件
12 薄膜厚度和成分测量系统 2 详见文件
13 光学特征尺寸量测系统 4 详见文件
14 介质薄膜测量系统 2 详见文件
15 扫描电镜曝光对准测量系统 2 详见文件
16 金属薄膜测量系统 2 详见文件
17 晶圆质量测量系统 2 详见文件
18 扫描电镜关键尺寸测量系统 4 详见文件
19 扫描电镜关键尺寸测量系统 4 详见文件
20 扫描电镜曝光对准测量系统 2 详见文件
21 原子力显微镜系统 4 详见文件
22 浅槽隔离集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
23 层间介质层集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
24 氧化硅集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
25 多晶硅集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
26 前段钨集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
27 后段钨集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
28 铜集成式膜厚光学关键尺寸量测仪 2 详见文件
29 电子束缺陷扫描量测仪 1 详见文件
30 电子束缺陷扫描仪 2 详见文件
31 电子显微镜 2 详见文件
32 光学宏观缺陷扫描仪 3 详见文件
33 光学显微镜 3 详见文件
34 iline扫描光刻机2 1 详见文件
35 晶圆级器 (略) 测试机台 1 详见文件

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标 (略) 商须具有同类设备的设计与制造的经验,所投设备为非试制品。 如由代理投标,须取得生产商唯一有效的授权书。投标人拟投设备应技术成熟,投标设备或同 (略) 业应有3台(含)以上/14包;5台(含)以上/09-12、21包的销售业绩;10台(含)以上/15-16、20包;15台(含)以上/01-06、22-28、30、34-35包的销售业绩;20台(含)以上/07-08、13、17-19包的销售业绩;30台(含)以上/29包;50台(含)以上/31包;600台(含)以上/32包;570台(含)以上/33包的销售业绩,的销售业绩,并提供用户清单。在经营过程中信誉良好,无违法经营和无 (略) 为。 以上资质文件应在规定的期限内真实有效, (略) 文件而予以否决。 (略) 文件而予以否决。 投标人必须在上注册,网址:http://
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: ***
招标文件领购结束时间: ***
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点: (略) (略) 驻长江 (略) 办公室(XMC 550室)
招标文件售价:¥2000/$300
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间): *** 09:30
投标文件送达地点: (略) (略) 1001号会议室
开标地点: (略) (略) 1001号会议室
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人:长江 (略)
地址: (略) 省 (略) 市 (略) 新技术开发区 (略) 四路18号
联系人:Maple
联系方式: ***
招标代理机构: (略) (略)
地址: (略) 市 (略) 区 (略) 西 (略) B座7-10楼
联系人:钱佩
联系方式: ***
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):

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